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LFT / ALFT
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MS-A / AMS-A
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MS-B / AMS-B
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XY-MS-A / XY-AMS-A
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XY-MS-B / XY-AMS-B
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VR
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VRU / AVRU
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VRU/AVRU ³W®æªí    
VRW / AVRW
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VRW/AVRW ³W®æªí    
XYZ-PTS / XYZ-APTS
¤T¶bºë±K·L½Õ¥x
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½u©Ê°¾®t§e (Straightness Deviation) ¤p©ó 0.01mm¡C ¥i·f°t¦UºØ¥ú¾Ç¤¸¥ó©Î¥[¤uªv¨ãµ¥¨Ï¥Î¡C
XYZ-PTS / APTS ³W®æªí    
PRS
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ºë«×³Ì¤pŪ¼Æ10¤À¡B(1/6«×)
·L½Õ½d³ò10o¡C
PRS ³W®æªí    
CRS90
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¦¹¾÷«¬ X, Y ¶b±Ä¥Î½u©Êºu¬W·Æ­y¡B²¾°Ê¶¶ºZ¡Bºë±K«×¡B °ªÃ­©w©Ê¯S¨Î¡C ¶b±ÛÂà¥x¨Ï¥Î°ªºë«×ºu¯]¶b©Ó¡Bºë½T«×¤Î¸ÑªR«×ºë½TµL¤ñ¡C
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CRS90 ³W®æªí